沈阳自动化所持股公司12寸晶圆级封装設备销往台灣國际一線大廠
中國科學院沈阳主动化钻研所持股公司——沈阳芯源微電子装备有限公司（如下简称芯源公司）持续完成國度肩周炎,“十一五”、“十二五”02重大專項使命，财產化功效显著，高端封装專用涂胶显影装备和LED涂胶显影装备海内市场占据率跨越50%，成為海内客户的主流首選装备。近日芯源公司又傳来喜报，截至6月30日，批量销往台灣國际一線大廠的1養髮液，2寸晶圆级封装装备全数經由過程验收。2015年第四時度，芯源公司經由過程了台灣大客户的严苛评估，一次性拿到20多台的12寸晶圆级封装装备定单。2016年1月至4月，芯源公司按台灣客户進度请求分批出货到現场，分批安装调试。今朝，装备陸续验收後已全数投入批量出降尿酸保健食品,產。
芯源公司提供應台灣大客户的批量装备采纳双機器手4腔重叠式布局，占地小、產能高，能顺應多种光刻胶的涂覆、烘焙和显影。装备用于Fan Out晶圆级封装工藝出產線。
芯源公司装备在與國际至公司的剧烈竞争中脱颖而出，拿到國际一線大廠的批量定单并定期交付，經由過程了台灣大客户的稽核，全数經由過程验收。
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